第21章 這，舉世壯舉（求評求月求推全都求）
開局一座工業園，造出光刻機 作者：歲月如夢 投票推薦 加入書簽 留言反饋
“！！！”
張帆嘟囔著小嘴乖乖的退了回去，她都沒說我能幹啥呢，就被拒絕了，她還能說啥。
太霸道了！
而就在所有人的注視之下。
光刻機全麵啟動。
整個工作機組成流水線程方式。
晶圓由機器人分毫不差的放在工作台上的卡槽之中，四周的卡位將晶圓穩固。
可在此時，畫麵卻靜止了下來。
曝光係統並沒有啟動，反而在真空罩內，進行一種複雜的工藝。
幾個院士目不轉睛，完全忘乎所以的盯著真空罩。
絲毫不顧周圍人的感受。
工部尚書盧風忍不住問道：“這，是在幹什麽？”
並不了解光刻機。
雲淩峰解釋道：“光刻機所加工的，並不是真正的芯片，而是芯片的基礎單位晶圓。”
“而晶圓加工，必須要進過五個流程。”
“晶圓裸片，金屬濺鍍，塗布光阻，刻蝕技術，光阻取出，電鍍工藝。”
“現在這個過程可以稱之為鍍膜！”
“簡單來說，就是電子元器件的物理氣象沉積工藝。”
“利用離子源產生的離子，在真空中經過加速聚集而形成高速離子束流，轟擊固體表麵。”
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“離子和固體表麵原子發生動能交換，使固體表麵的原子離開固體並沉積在基底表麵，也就是鍍膜！”
聽完，工部尚書不由的點了點頭，但其實……根本就沒聽懂。
“不錯，不錯！”但工部尚書還是忍不住的讚歎起來。
“是啊，不錯，非常不錯！”郡守，兩大城主也緊隨其後的點頭稱讚。
頗有一番見解的點頭，表示……看懂了。
但其實，還是一臉懵。
雲淩峰無奈一笑，隻能繼續解釋道：“光刻機加工芯片過程中，簡單來說就是通過光源，形成控製方法。”
“將光束射過線路圖，處理好光學誤差，再將線路圖的比例縮小，用化學的方法將電路圖刻在矽片上。”
“在晶圓上開出各種微小的空間注入離子，生成PN節，構建千千萬萬的元器件。”
“完成這個，才能在晶圓上形成芯片原形。”
“之後，通過切割，封裝，套入管腳，測試等等，就完成最終的芯片！”
“原來如此！”直到此時，工部尚書才有點明白的點了點頭。
而巡域使也是讚歎道：“沒想到芯片這小小的東西，竟然如此的複雜。”
而當眾人再次看向雲淩峰的時候，就忍不住的佩服了起來。
雲淩峰，可是完整的從無到有研發出光刻機。
這究竟是怎樣的博學，才能夠做到。
甚至於。
雲淩峰這簡短所說的，連光刻機所涉及知識的萬分之一都不到。
難以想象。
同樣是腦子，雲淩峰的腦子和他們的腦子，差距究竟有多大！
這讓他們肅然起敬。
這研究過程之中，又經曆了怎樣的艱苦！
就在此時。
曝光係統正式的啟動。
全自動化生產，經過鍍膜之後的晶圓，進入了曝光台上，曝光係統兩個光係統多組物鏡組折射之後高頻光，用肉眼所看不到的方式開始在晶圓上麵進行加工。
在這個過程之中。
傳感器係統從多個方位對晶圓進行高度自動化同步，並將實時數據傳回中控，可以精準到納米以下對晶圓進行加工。
光刻機就是在晶圓上製造出超大規模集成電路。
時間在所有人屏住呼吸之中悄然而過。
人不多。
但所有人都目光灼熱，屏住呼吸的盯著工作台，深怕自己的呼吸影響到光的方向。
手機SOC芯片的晶片隻有拇指蓋一半大小。
而晶圓為最常用的半導體材料，按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸，12英寸，18英寸。
自然，這需要根據需求，也就是集成電路設計數量和光刻機常規加工精度來綜合定型晶圓大小尺寸。
此時工作台上加工的是一個12英寸晶圓。
三分鍾時間過去。
隻見工作台上的曝光係統停止了工作。
經過最後一層電鍍工藝之後。
一片12英寸的晶圓體就正式的完成。
寂靜。
無聲。
幾個院士激動而顫抖的盯著已經完成加工的晶圓。
已經不知道該幹什麽了。
隻剩下無限激動。
而就在短暫的沉浸三秒之後。
科學院陳院士顫抖了起來，忍不住驚歎的上前三步，站在最靠近工作台的位置，不敢相信的道：“5nm波長的極紫外光，這究竟是怎麽做到的。”
“究竟是以什麽樣的物鏡組合方式，才能夠將如此精細的高頻光反射為所需要的光圖。”
“多位傳感器，多層組合之下，這個誤差好像跟別的不一樣。”
“不敢想象，這樣的製作工藝，會出現在我們龍國！”
陳院士激動了，兩隻手顫抖的撫摸著真空外罩，對裏麵的工作台望眼欲穿。
而後！
猛然間。
陳院士轉身，激動的跑在了雲淩峰的麵前，無比驚歎的道：“雲總，毫不客氣的說，這台光刻機，就算是給荷包蛋集團三十年的時間，也未必能夠超越！”
“我……”陳院士激動著，嘩啦一下，就深深的對著雲淩峰鞠躬，眼神之中流露出激動的淚光。
“萬千感激，隻願我龍國，成為真正的科技強國。”
一切盡在不言中。
雲淩峰急忙上前扶起道：“這，是我們共同的願景啊！”
張帆默默的拿出筆記本，將這幅畫麵記錄了下來。
“哈哈哈，好一個是我們共同的願景。”半導體徐院士緊隨陳院士，對雲淩峰隻剩下無限的崇拜。
研究院劉院士更是激動的道：“這是我們自主生產的光刻機，這其中，沒有用到歪果仁任何一組零器件！”
“這，是創造龍國曆史的壯舉！”
八零八研究院李院士也跟著激動走來，手中捧著成品晶圓，笑嗬嗬道：“這，才是我們龍國的希望之光。”
“毫不客氣的說，雲總比那些年收入幾千萬的網紅，明星，不知道要強多少倍。”
科學院陳院士直接不滿的怒道：“李老，你這話就不對了，你將雲總跟那些網紅明顯比，有可比性嗎？”
“毫不客氣的說，網紅不過是大家茶餘飯後的調節劑。”
“一切盡在不言中。”
張帆嘟囔著小嘴乖乖的退了回去，她都沒說我能幹啥呢，就被拒絕了，她還能說啥。
太霸道了！
而就在所有人的注視之下。
光刻機全麵啟動。
整個工作機組成流水線程方式。
晶圓由機器人分毫不差的放在工作台上的卡槽之中，四周的卡位將晶圓穩固。
可在此時，畫麵卻靜止了下來。
曝光係統並沒有啟動，反而在真空罩內，進行一種複雜的工藝。
幾個院士目不轉睛，完全忘乎所以的盯著真空罩。
絲毫不顧周圍人的感受。
工部尚書盧風忍不住問道：“這，是在幹什麽？”
並不了解光刻機。
雲淩峰解釋道：“光刻機所加工的，並不是真正的芯片，而是芯片的基礎單位晶圓。”
“而晶圓加工，必須要進過五個流程。”
“晶圓裸片，金屬濺鍍，塗布光阻，刻蝕技術，光阻取出，電鍍工藝。”
“現在這個過程可以稱之為鍍膜！”
“簡單來說，就是電子元器件的物理氣象沉積工藝。”
“利用離子源產生的離子，在真空中經過加速聚集而形成高速離子束流，轟擊固體表麵。”
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“離子和固體表麵原子發生動能交換，使固體表麵的原子離開固體並沉積在基底表麵，也就是鍍膜！”
聽完，工部尚書不由的點了點頭，但其實……根本就沒聽懂。
“不錯，不錯！”但工部尚書還是忍不住的讚歎起來。
“是啊，不錯，非常不錯！”郡守，兩大城主也緊隨其後的點頭稱讚。
頗有一番見解的點頭，表示……看懂了。
但其實，還是一臉懵。
雲淩峰無奈一笑，隻能繼續解釋道：“光刻機加工芯片過程中，簡單來說就是通過光源，形成控製方法。”
“將光束射過線路圖，處理好光學誤差，再將線路圖的比例縮小，用化學的方法將電路圖刻在矽片上。”
“在晶圓上開出各種微小的空間注入離子，生成PN節，構建千千萬萬的元器件。”
“完成這個，才能在晶圓上形成芯片原形。”
“之後，通過切割，封裝，套入管腳，測試等等，就完成最終的芯片！”
“原來如此！”直到此時，工部尚書才有點明白的點了點頭。
而巡域使也是讚歎道：“沒想到芯片這小小的東西，竟然如此的複雜。”
而當眾人再次看向雲淩峰的時候，就忍不住的佩服了起來。
雲淩峰，可是完整的從無到有研發出光刻機。
這究竟是怎樣的博學，才能夠做到。
甚至於。
雲淩峰這簡短所說的，連光刻機所涉及知識的萬分之一都不到。
難以想象。
同樣是腦子，雲淩峰的腦子和他們的腦子，差距究竟有多大！
這讓他們肅然起敬。
這研究過程之中，又經曆了怎樣的艱苦！
就在此時。
曝光係統正式的啟動。
全自動化生產，經過鍍膜之後的晶圓，進入了曝光台上，曝光係統兩個光係統多組物鏡組折射之後高頻光，用肉眼所看不到的方式開始在晶圓上麵進行加工。
在這個過程之中。
傳感器係統從多個方位對晶圓進行高度自動化同步，並將實時數據傳回中控，可以精準到納米以下對晶圓進行加工。
光刻機就是在晶圓上製造出超大規模集成電路。
時間在所有人屏住呼吸之中悄然而過。
人不多。
但所有人都目光灼熱，屏住呼吸的盯著工作台，深怕自己的呼吸影響到光的方向。
手機SOC芯片的晶片隻有拇指蓋一半大小。
而晶圓為最常用的半導體材料，按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸，12英寸，18英寸。
自然，這需要根據需求，也就是集成電路設計數量和光刻機常規加工精度來綜合定型晶圓大小尺寸。
此時工作台上加工的是一個12英寸晶圓。
三分鍾時間過去。
隻見工作台上的曝光係統停止了工作。
經過最後一層電鍍工藝之後。
一片12英寸的晶圓體就正式的完成。
寂靜。
無聲。
幾個院士激動而顫抖的盯著已經完成加工的晶圓。
已經不知道該幹什麽了。
隻剩下無限激動。
而就在短暫的沉浸三秒之後。
科學院陳院士顫抖了起來，忍不住驚歎的上前三步，站在最靠近工作台的位置，不敢相信的道：“5nm波長的極紫外光，這究竟是怎麽做到的。”
“究竟是以什麽樣的物鏡組合方式，才能夠將如此精細的高頻光反射為所需要的光圖。”
“多位傳感器，多層組合之下，這個誤差好像跟別的不一樣。”
“不敢想象，這樣的製作工藝，會出現在我們龍國！”
陳院士激動了，兩隻手顫抖的撫摸著真空外罩，對裏麵的工作台望眼欲穿。
而後！
猛然間。
陳院士轉身，激動的跑在了雲淩峰的麵前，無比驚歎的道：“雲總，毫不客氣的說，這台光刻機，就算是給荷包蛋集團三十年的時間，也未必能夠超越！”
“我……”陳院士激動著，嘩啦一下，就深深的對著雲淩峰鞠躬，眼神之中流露出激動的淚光。
“萬千感激，隻願我龍國，成為真正的科技強國。”
一切盡在不言中。
雲淩峰急忙上前扶起道：“這，是我們共同的願景啊！”
張帆默默的拿出筆記本，將這幅畫麵記錄了下來。
“哈哈哈，好一個是我們共同的願景。”半導體徐院士緊隨陳院士，對雲淩峰隻剩下無限的崇拜。
研究院劉院士更是激動的道：“這是我們自主生產的光刻機，這其中，沒有用到歪果仁任何一組零器件！”
“這，是創造龍國曆史的壯舉！”
八零八研究院李院士也跟著激動走來，手中捧著成品晶圓，笑嗬嗬道：“這，才是我們龍國的希望之光。”
“毫不客氣的說，雲總比那些年收入幾千萬的網紅，明星，不知道要強多少倍。”
科學院陳院士直接不滿的怒道：“李老，你這話就不對了，你將雲總跟那些網紅明顯比，有可比性嗎？”
“毫不客氣的說，網紅不過是大家茶餘飯後的調節劑。”
“一切盡在不言中。”