第125章 改良方案
科技強國從升級鏡頭開始 作者：五星造事包 投票推薦 加入書簽 留言反饋
計劃歸計劃，該拆的設備還是得拆。
不過康馳也不用把它拆得非常零散，隻需要把幾個模塊給分開就行了。
反正這玩意拆了外殼，誰也不認不出是什麽東西。
由於工作量比較大，康馳隻能在東陽又多停留了一周，
同時在拆解休息的時候，他還抽空看了看常春光所的euv設計圖，把圖紙都給吃透得差不多了。
在光刻機的euv光源中，有兩個相對成熟可靠的方案，即dpp和lpp方案。
這兩個方案，其實原理都是差不多的，就是利用錫轉換成等離子體的過程中，可以釋放出極紫外光，
區別隻是dpp是用電擊錫來激活，lpp是用激光二次打擊錫液激活。
按照華國的一貫風格，自然是啥都要試試，
所以目前這兩個方案，分別由常春光所、魔都光所負責研發。
其中魔都光所的lpp方案，進展其實是最快的，據說功率已經達到了188w，轉換效率為3.7%，基本能夠進入實用化了。
但lpp方案中所需的脈衝大功率二氧化碳激光器，依然沒有攻克，目前隻有m國和島國能夠生產，和euv光刻機一樣有錢也買不到。
所以雖然阿斯麥的euv光刻機，用的就是這個方案，算是給華國指明了方向，但因為專利壁壘和禁售，挑戰反而更大。
反觀dpp方案，則可以避開專利壁壘，同時它的前景也更大，因為它是直接將電能轉化為等離子體能，光源結構簡單，隨著技術成熟相對容易提升功率，
如果能把同步輻射光源的加速器小型化，那麽dpp方案也將會有更大的應用前景。
這也是康馳選擇常春光所dpp方案的主要原因。
在吃透了常春光所的圖紙，並分析出了他們目前遇到的困難和技術缺陷後，康馳又花了幾天的時間，對這套方案進行了改良設計，然後把硬盤交給了陳海，讓他安排人送到常春去。
當何永收到硬盤，得知康馳已經對方案完成了改良設計後，忍不住掏出手機，確認了一下日期。
“這才過了十天，你確定他把圖紙看明白了？”
負責送圖紙的賴慶雷搖了搖頭：“抱歉，我隻是個送圖紙的，技術層麵的東西我也不知道，不過我覺得康博士應該不至於開這種低級玩笑。”
“是嗎？”何永冷笑道，“我怎麽覺得他老愛開玩笑。”
接過硬盤後，何永也忍不住立刻回到辦公室，好奇地打開裏麵的圖紙，想看看康馳所謂的改良方案是真是假。
打開第一張整體結構圖，何永一眼就看出，這和他們原本的設計有很大的區別。
所以，他真對設計圖進行了改良？
而從消化圖紙，到完成改良設計，他僅僅隻用了十天？！
先不說改良的方案到底行不行，光是這個效率，就讓何永感到有些難以置信。
短暫的驚訝過後，何永便把設計圖放大，仔細分析起了裏麵的改變，眉頭也逐漸開始皺了起來。
“磁場約束？”
看著包裹著兩個電極的麻花狀線條，何永總感覺似乎在哪裏看過類似的設計結構……
沒看出什麽名堂的何永，試著根據康馳在整體結構圖上的注解，找到了這個麻花狀的詳細分解圖。
然後他頓時就瞪大了眼睛。
他終於知道自己在哪，看過類似的結構了。
這是……
仿星器！
這結構，太像可控核聚變的重要技術路線——仿星器的磁場環了！
開什麽玩笑？！
我們這是在造euv光源，不是搞核聚變的！
就算你把仿星器設計出來了，是憑我們就能造出來的嗎？！
何永看到這張圖的第一眼，隻覺得這太離譜了，
但多看兩眼之後，他很快就發現，它雖然像仿星器，但實際上卻和仿星器還是有比較大的區別。
仿星器的設計，是個完美的閉環磁場，而這個顯然是個開環，結構也相對簡單很多。
何永又看了看這張圖的技術說明，很快就理解了康馳這套改良方案，具體的原理是什麽。
在dpp-euv方案中，最大的問題，就是在電離錫的時候，會產生大量的錫碎屑，
這些碎屑溫度極高，很容易腐蝕、汙染電極和設備，
尤其是收集光線的反射鏡，
一旦受損，收集光線的效率就會直線降低。
所以康馳就用了一個類似仿星器的磁約束原理，製造一股無形的‘風’，把這些電離過程中產生的錫碎屑，沿著設計好的磁場路線吹出去。
想法是很好，但這可能實現嗎？
先不說這個強磁場能不能造出來，就算造出來了，這麽強的磁場，會不會對設備的其它部件，造成幹擾影響？
而且除了這個磁場清理碎屑的改良點，何永在接下來，還發現了康馳另外一個更瘋狂的改良。
錫本來應該塗抹在電極上的，
但康馳直接在電極中間加了個噴嘴，把錫加熱到2260度，變成氣體噴出去！
原理其實和燃油發動機有點像，噴油嘴噴油，然後火花塞點火，
區別隻是一個燃燒膨脹作功，一個電離發光。
這麽做有個好處，就是能夠解決重頻放電的光源穩定性，同時很容易增大光源功率。
但這一切的前提，都是那個像仿星器的磁場設計，到底行不行。
如果這套磁場設計不行的話，錫氣一噴，整個裝置就毀了。
想到這裏，何永立即召開了一場技術研討會，直接在會議上公布了康馳的改良方案。
當看到康馳的方案，並聽完何永的講解後，整個會議室頓時就陷入了很長一段時間的沉默。
所有人都被這個大膽而瘋狂的方案給震住了。
而何永也給了他們充足的時間，來消化這些信息。
過了足足三分鍾，才終於有人開口問道：“這……能行嗎？”
“我也不知道。”何永看了眾人一眼，
“從理論上來說，這確實是一個方向，但具體能不能實現，得先對這個設計理論進行模擬驗證……老廖，磁場這塊你比較擅長，所以磁場分析就交給伱了。”
被點到名的廖遠點了點頭：“給我兩天時間。”
何永隨即又把目光，放在了另一位五十多歲的老者身上：“老許，你過來先仔細研究一下設計圖，看看有多少把握造能造出來。”
隨後何永便把位置讓了出來。
老許對著電腦，研究了大概半個多小時的圖紙，最後才點頭道：“應該沒太大問題。”
“這雖然看著像仿星器，但實際上它的要求沒這麽苛刻，仿星器需要控製的是核聚變，不但對磁力要求特別大，還得不能有絲毫的偏差，但這個隻需要大概控製住磁場的走向，設備精度要求低一些，體積也不算大。”
何永聽完頓時就放心了，
接下來，就等設計理論模擬驗證的結果了。
(本章完)
不過康馳也不用把它拆得非常零散，隻需要把幾個模塊給分開就行了。
反正這玩意拆了外殼，誰也不認不出是什麽東西。
由於工作量比較大，康馳隻能在東陽又多停留了一周，
同時在拆解休息的時候，他還抽空看了看常春光所的euv設計圖，把圖紙都給吃透得差不多了。
在光刻機的euv光源中，有兩個相對成熟可靠的方案，即dpp和lpp方案。
這兩個方案，其實原理都是差不多的，就是利用錫轉換成等離子體的過程中，可以釋放出極紫外光，
區別隻是dpp是用電擊錫來激活，lpp是用激光二次打擊錫液激活。
按照華國的一貫風格，自然是啥都要試試，
所以目前這兩個方案，分別由常春光所、魔都光所負責研發。
其中魔都光所的lpp方案，進展其實是最快的，據說功率已經達到了188w，轉換效率為3.7%，基本能夠進入實用化了。
但lpp方案中所需的脈衝大功率二氧化碳激光器，依然沒有攻克，目前隻有m國和島國能夠生產，和euv光刻機一樣有錢也買不到。
所以雖然阿斯麥的euv光刻機，用的就是這個方案，算是給華國指明了方向，但因為專利壁壘和禁售，挑戰反而更大。
反觀dpp方案，則可以避開專利壁壘，同時它的前景也更大，因為它是直接將電能轉化為等離子體能，光源結構簡單，隨著技術成熟相對容易提升功率，
如果能把同步輻射光源的加速器小型化，那麽dpp方案也將會有更大的應用前景。
這也是康馳選擇常春光所dpp方案的主要原因。
在吃透了常春光所的圖紙，並分析出了他們目前遇到的困難和技術缺陷後，康馳又花了幾天的時間，對這套方案進行了改良設計，然後把硬盤交給了陳海，讓他安排人送到常春去。
當何永收到硬盤，得知康馳已經對方案完成了改良設計後，忍不住掏出手機，確認了一下日期。
“這才過了十天，你確定他把圖紙看明白了？”
負責送圖紙的賴慶雷搖了搖頭：“抱歉，我隻是個送圖紙的，技術層麵的東西我也不知道，不過我覺得康博士應該不至於開這種低級玩笑。”
“是嗎？”何永冷笑道，“我怎麽覺得他老愛開玩笑。”
接過硬盤後，何永也忍不住立刻回到辦公室，好奇地打開裏麵的圖紙，想看看康馳所謂的改良方案是真是假。
打開第一張整體結構圖，何永一眼就看出，這和他們原本的設計有很大的區別。
所以，他真對設計圖進行了改良？
而從消化圖紙，到完成改良設計，他僅僅隻用了十天？！
先不說改良的方案到底行不行，光是這個效率，就讓何永感到有些難以置信。
短暫的驚訝過後，何永便把設計圖放大，仔細分析起了裏麵的改變，眉頭也逐漸開始皺了起來。
“磁場約束？”
看著包裹著兩個電極的麻花狀線條，何永總感覺似乎在哪裏看過類似的設計結構……
沒看出什麽名堂的何永，試著根據康馳在整體結構圖上的注解，找到了這個麻花狀的詳細分解圖。
然後他頓時就瞪大了眼睛。
他終於知道自己在哪，看過類似的結構了。
這是……
仿星器！
這結構，太像可控核聚變的重要技術路線——仿星器的磁場環了！
開什麽玩笑？！
我們這是在造euv光源，不是搞核聚變的！
就算你把仿星器設計出來了，是憑我們就能造出來的嗎？！
何永看到這張圖的第一眼，隻覺得這太離譜了，
但多看兩眼之後，他很快就發現，它雖然像仿星器，但實際上卻和仿星器還是有比較大的區別。
仿星器的設計，是個完美的閉環磁場，而這個顯然是個開環，結構也相對簡單很多。
何永又看了看這張圖的技術說明，很快就理解了康馳這套改良方案，具體的原理是什麽。
在dpp-euv方案中，最大的問題，就是在電離錫的時候，會產生大量的錫碎屑，
這些碎屑溫度極高，很容易腐蝕、汙染電極和設備，
尤其是收集光線的反射鏡，
一旦受損，收集光線的效率就會直線降低。
所以康馳就用了一個類似仿星器的磁約束原理，製造一股無形的‘風’，把這些電離過程中產生的錫碎屑，沿著設計好的磁場路線吹出去。
想法是很好，但這可能實現嗎？
先不說這個強磁場能不能造出來，就算造出來了，這麽強的磁場，會不會對設備的其它部件，造成幹擾影響？
而且除了這個磁場清理碎屑的改良點，何永在接下來，還發現了康馳另外一個更瘋狂的改良。
錫本來應該塗抹在電極上的，
但康馳直接在電極中間加了個噴嘴，把錫加熱到2260度，變成氣體噴出去！
原理其實和燃油發動機有點像，噴油嘴噴油，然後火花塞點火，
區別隻是一個燃燒膨脹作功，一個電離發光。
這麽做有個好處，就是能夠解決重頻放電的光源穩定性，同時很容易增大光源功率。
但這一切的前提，都是那個像仿星器的磁場設計，到底行不行。
如果這套磁場設計不行的話，錫氣一噴，整個裝置就毀了。
想到這裏，何永立即召開了一場技術研討會，直接在會議上公布了康馳的改良方案。
當看到康馳的方案，並聽完何永的講解後，整個會議室頓時就陷入了很長一段時間的沉默。
所有人都被這個大膽而瘋狂的方案給震住了。
而何永也給了他們充足的時間，來消化這些信息。
過了足足三分鍾，才終於有人開口問道：“這……能行嗎？”
“我也不知道。”何永看了眾人一眼，
“從理論上來說，這確實是一個方向，但具體能不能實現，得先對這個設計理論進行模擬驗證……老廖，磁場這塊你比較擅長，所以磁場分析就交給伱了。”
被點到名的廖遠點了點頭：“給我兩天時間。”
何永隨即又把目光，放在了另一位五十多歲的老者身上：“老許，你過來先仔細研究一下設計圖，看看有多少把握造能造出來。”
隨後何永便把位置讓了出來。
老許對著電腦，研究了大概半個多小時的圖紙，最後才點頭道：“應該沒太大問題。”
“這雖然看著像仿星器，但實際上它的要求沒這麽苛刻，仿星器需要控製的是核聚變，不但對磁力要求特別大，還得不能有絲毫的偏差，但這個隻需要大概控製住磁場的走向，設備精度要求低一些，體積也不算大。”
何永聽完頓時就放心了，
接下來，就等設計理論模擬驗證的結果了。
(本章完)