曲卓入行時，正是步進式投影光刻機發展的頂峰時期。
即便後來浸潤式光刻機出來了，國內在很長時間裏，依舊以幹式機為主。
那段時間裏，國內就是個破爛王國，佳能的ex3l和5l、尼康的nsr-1010g，asml的fpa2500，svgl的micrascan i，甚至gca在78年推出的，當時來說已經老掉牙的第一代stepper都能見到。
接觸的多了，曲卓對關聯的技術、結構和工藝什麽的了解的很詳細。
剔除掉其他工藝和流程，隻說光刻機本身，作為光源的氟化氪和氟化氬準分子激光……暫時就甭惦記，離得稍微有點遠。
眼下國內雖然可以自產高壓汞燈，但穩定性和壽命遠不達標。
450nm以上的穩定光源，曲卓有“收錄”。但隻能“買”出成品，沒有生產工藝和設備，對應的光刻膠也一樣。
至於i線和g線，好像是80年後漢斯先搞出來的。
鏡頭模組……已經收錄到了紫外高透玻璃，拋光、鍍膜、校準，對於腦子裏的“係統”來說完全沒有任何難度。
關鍵還是老問題，拿不出專用的高精度銑床。別說銑床了，小磨頭都不知道去哪“收錄”。
至於進一步提升精度的磁流變拋光、離子束拋光那些……唉~約等於讓駕校教練的去教潛水，全是知識盲區，太難為人了。
所以，依舊隻能想招給內陸提供成品，卻沒辦法完善產業鏈上的缺失。
尼康和佳能肯定能“摸”到不少玩意，問題是……想個什麽招兒呢？
對於一台光刻機來說，技術難度最高的就是光學及相關部分。其它的……雖然“素材”還欠缺很多，但隻搞出個唬人的大框，基本談不上多大的難度。
隻要讓英國佬以為，我們在技術層麵，甚至是實驗室層麵的完成度已經足夠高了。除了欠缺幾項關鍵技術和工藝，主要缺乏的不過是工業化和體係化生產的能力就行。
再加上領先的集成電路設計能力和通用型係統，砝碼絕對夠重。
綜合起來看，曲卓要實現上麵的意圖……不難，卻不能輕易的答應。
可開出什麽樣的條件，他還真沒想好。
小來小去沒意思。
要狠了，就算眼下上麵沒招，捏著鼻子答應了，過後保不齊就會想招找後賬。
甭以為位子高的人，就一定大氣。不過是更加懂得取舍和權衡罷了。
而曲卓的策略是，本職工作毫無二話，保質保量完成的同時，還會交出超出預期的答卷。
但工作範圍之外的事，就得掂量掂量拿捏拿捏了。
不掂量不拿捏，就得讓人逮著了往死裏攥……
梅宣寧氣呼呼的走了，曲卓樂嗬嗬的相送。
他知道梅老二回去後，肯定會把問題扔回給安全部門，讓那幫人自己看著辦。
這也是曲卓半步不退的原因。
畢竟今天談的內容，跟曲卓是不相幹的，跟梅宣寧也是不相幹的。
如果是梅宣寧的事，態度自然就不一樣了。能辦的話，製造點難度就給辦了。
因為，這位是真大腿，做人也比較講究，多賣點人情沒壞處。一旦後麵哪天出了什麽紕漏，能頂大用呢。
前提是，得讓梅老二知道欠下人情份量有多重。
安全部門甩出來的這檔爛事兒，就是個很好的，可以用作稱量和比對的參照物……
隻要有事忙，時間過得就飛快。
曲卓以記憶中gca的stepper為基礎，參考佳能的ex3l和尼康的nsr-1010g在穩定性和經濟性方麵的部分技術，搞了台步進式光刻機的設計出來。
不知道多少次的修改和微調後，最終定稿。
隨後，將加工流程拉展，由櫃式立體布局變成線式布局。
這樣設計有很大的缺陷，增加物料成本和調試難度都是小事。
關鍵在於拉展後，通過自動軌道進行重複對準和曝光，以及清洗和固化的線程被拉長了。必然會增加誤差和被汙染的幾率，結果就是降低良品率。
但是沒辦法，櫃式立體設計缺太多“素材”了。以至於隻能停留於“藍圖”狀態。
改成線式布局後，可以拆分後把能買的先“買”出來。“買”不出來的回頭給設計。
這也是實驗室做技術論證的正常狀態。
還能讓英國佬直觀的看到我們“已經擁有”技術實力，以及欠缺的，需要他們補足的地方。
當然了，肯定不能老實巴交的直接把“家底”全抖摟光。至於具體怎麽談，自然有人去謀劃和執行。
關於“談判”這件事，咱家的手段一直是高明的。尤其是國家隊出手，隻要給他們足夠的“彈藥”，吃虧的可能性很小。
即便吃點小虧，能搞定部分我們急需的配套產業設備和技術也行。
畢竟步進式光刻機從g線到arf，曆經了小二十年呢，中間進行過多次技術迭代。
即便在初代設備上吃點小虧也沒關係，全當積累經驗了，後麵有大把機會可以找補回來。
時間一晃就到了十二月十號。
早晨六點多，曲卓難得起了個大早，收拾立整後圍上圍脖扣上棉帽子，出門奔帽兒胡同西口杵著。
一直等到七點多，楊穎才開著bj212打南邊過來……
“怎麽才來？”曲卓縮進後座，凍得直哆嗦。
破車節溫閥修兩次了，水溫上的還是特別慢。以至於從空院開到什刹海，暖風依舊約等於無。
“我媽起晚了，還非要去買油條，還煮雞蛋。耽誤了好多時間。”楊穎嘟著嘴抱怨。
姑娘今天穿的賊樸素，也賊厚實。
不穿厚點不行，作為考場的五十四中沒暖氣。挺大的教室裏就生個小破爐子，要是分到邊邊角角的座位，能凍的手都伸不直。
“一根油條倆雞蛋？”曲卓很意外，沒想到眼下這年月，就有如此吉利的吃法了。
“嗯~你開唄。凍手。心裏還發慌。”楊穎癟著小肉嘴撒嬌。
“現在才知道慌，早幹嘛去了。”曲卓挪屁股下車，上了駕駛位，開著212直奔和平裏。
“……”楊穎對著某人的後腦勺嘟嘴做鬼臉。
眼看就要到五十四中了，前麵路兩側烏泱泱的全是人。零下十來度的氣溫下，人群呼出的白氣都連成片了。
這年頭不流行家長送考，不用問，全都是等著進考場的考生。
人家都是騎車、坐公車，甚至是大老遠步行過來的。開著車過來考試太紮眼，楊穎昨天跟喬小雨約好了在東街輔路路口碰頭。
曲卓放慢車速穿過一幫一撮一群群的考生，越過學校正門後在前麵路口左轉。
往前開了一點，離著還挺遠呢，就看到了路邊穿著暗紅底黑格子棉襖，一邊跺腳一邊把兩隻手放在嘴邊哈氣的喬小雨。
點了腳油門開過去，踩下刹車推開車門，黑著臉招呼：“上車！”
喬小雨看到某人傻了一下，醒過神趕緊坐進副駕駛，驚訝的問：“你怎麽來啦？”
“手套呢？”曲卓不由分說的把棉帽子扣媳婦腦袋上，拽過兩隻拔涼的手，直接塞進衣襟下麵。
喬小雨看了眼後座的楊穎，凍得有些發白的小臉上浮起一片紅暈。蚊子大的聲音說：“我尋思……考場沒地方放。”
“你可真行！準考證、筆、演算紙，都帶沒？”
“帶了。”喬小雨抽回一隻手，解開兩顆扣子，從棉襖裏懷掏出個防雨綢袋子。
裏麵有鋼筆，手裏拎著怕鋼筆水凍了。
“完了！”後座的楊穎忽然冒出一句……
即便後來浸潤式光刻機出來了，國內在很長時間裏，依舊以幹式機為主。
那段時間裏，國內就是個破爛王國，佳能的ex3l和5l、尼康的nsr-1010g，asml的fpa2500，svgl的micrascan i，甚至gca在78年推出的，當時來說已經老掉牙的第一代stepper都能見到。
接觸的多了，曲卓對關聯的技術、結構和工藝什麽的了解的很詳細。
剔除掉其他工藝和流程，隻說光刻機本身，作為光源的氟化氪和氟化氬準分子激光……暫時就甭惦記，離得稍微有點遠。
眼下國內雖然可以自產高壓汞燈，但穩定性和壽命遠不達標。
450nm以上的穩定光源，曲卓有“收錄”。但隻能“買”出成品，沒有生產工藝和設備，對應的光刻膠也一樣。
至於i線和g線，好像是80年後漢斯先搞出來的。
鏡頭模組……已經收錄到了紫外高透玻璃，拋光、鍍膜、校準，對於腦子裏的“係統”來說完全沒有任何難度。
關鍵還是老問題，拿不出專用的高精度銑床。別說銑床了，小磨頭都不知道去哪“收錄”。
至於進一步提升精度的磁流變拋光、離子束拋光那些……唉~約等於讓駕校教練的去教潛水，全是知識盲區，太難為人了。
所以，依舊隻能想招給內陸提供成品，卻沒辦法完善產業鏈上的缺失。
尼康和佳能肯定能“摸”到不少玩意，問題是……想個什麽招兒呢？
對於一台光刻機來說，技術難度最高的就是光學及相關部分。其它的……雖然“素材”還欠缺很多，但隻搞出個唬人的大框，基本談不上多大的難度。
隻要讓英國佬以為，我們在技術層麵，甚至是實驗室層麵的完成度已經足夠高了。除了欠缺幾項關鍵技術和工藝，主要缺乏的不過是工業化和體係化生產的能力就行。
再加上領先的集成電路設計能力和通用型係統，砝碼絕對夠重。
綜合起來看，曲卓要實現上麵的意圖……不難，卻不能輕易的答應。
可開出什麽樣的條件，他還真沒想好。
小來小去沒意思。
要狠了，就算眼下上麵沒招，捏著鼻子答應了，過後保不齊就會想招找後賬。
甭以為位子高的人，就一定大氣。不過是更加懂得取舍和權衡罷了。
而曲卓的策略是，本職工作毫無二話，保質保量完成的同時，還會交出超出預期的答卷。
但工作範圍之外的事，就得掂量掂量拿捏拿捏了。
不掂量不拿捏，就得讓人逮著了往死裏攥……
梅宣寧氣呼呼的走了，曲卓樂嗬嗬的相送。
他知道梅老二回去後，肯定會把問題扔回給安全部門，讓那幫人自己看著辦。
這也是曲卓半步不退的原因。
畢竟今天談的內容，跟曲卓是不相幹的，跟梅宣寧也是不相幹的。
如果是梅宣寧的事，態度自然就不一樣了。能辦的話，製造點難度就給辦了。
因為，這位是真大腿，做人也比較講究，多賣點人情沒壞處。一旦後麵哪天出了什麽紕漏，能頂大用呢。
前提是，得讓梅老二知道欠下人情份量有多重。
安全部門甩出來的這檔爛事兒，就是個很好的，可以用作稱量和比對的參照物……
隻要有事忙，時間過得就飛快。
曲卓以記憶中gca的stepper為基礎，參考佳能的ex3l和尼康的nsr-1010g在穩定性和經濟性方麵的部分技術，搞了台步進式光刻機的設計出來。
不知道多少次的修改和微調後，最終定稿。
隨後，將加工流程拉展，由櫃式立體布局變成線式布局。
這樣設計有很大的缺陷，增加物料成本和調試難度都是小事。
關鍵在於拉展後，通過自動軌道進行重複對準和曝光，以及清洗和固化的線程被拉長了。必然會增加誤差和被汙染的幾率，結果就是降低良品率。
但是沒辦法，櫃式立體設計缺太多“素材”了。以至於隻能停留於“藍圖”狀態。
改成線式布局後，可以拆分後把能買的先“買”出來。“買”不出來的回頭給設計。
這也是實驗室做技術論證的正常狀態。
還能讓英國佬直觀的看到我們“已經擁有”技術實力，以及欠缺的，需要他們補足的地方。
當然了，肯定不能老實巴交的直接把“家底”全抖摟光。至於具體怎麽談，自然有人去謀劃和執行。
關於“談判”這件事，咱家的手段一直是高明的。尤其是國家隊出手，隻要給他們足夠的“彈藥”，吃虧的可能性很小。
即便吃點小虧，能搞定部分我們急需的配套產業設備和技術也行。
畢竟步進式光刻機從g線到arf，曆經了小二十年呢，中間進行過多次技術迭代。
即便在初代設備上吃點小虧也沒關係，全當積累經驗了，後麵有大把機會可以找補回來。
時間一晃就到了十二月十號。
早晨六點多，曲卓難得起了個大早，收拾立整後圍上圍脖扣上棉帽子，出門奔帽兒胡同西口杵著。
一直等到七點多，楊穎才開著bj212打南邊過來……
“怎麽才來？”曲卓縮進後座，凍得直哆嗦。
破車節溫閥修兩次了，水溫上的還是特別慢。以至於從空院開到什刹海，暖風依舊約等於無。
“我媽起晚了，還非要去買油條，還煮雞蛋。耽誤了好多時間。”楊穎嘟著嘴抱怨。
姑娘今天穿的賊樸素，也賊厚實。
不穿厚點不行，作為考場的五十四中沒暖氣。挺大的教室裏就生個小破爐子，要是分到邊邊角角的座位，能凍的手都伸不直。
“一根油條倆雞蛋？”曲卓很意外，沒想到眼下這年月，就有如此吉利的吃法了。
“嗯~你開唄。凍手。心裏還發慌。”楊穎癟著小肉嘴撒嬌。
“現在才知道慌，早幹嘛去了。”曲卓挪屁股下車，上了駕駛位，開著212直奔和平裏。
“……”楊穎對著某人的後腦勺嘟嘴做鬼臉。
眼看就要到五十四中了，前麵路兩側烏泱泱的全是人。零下十來度的氣溫下，人群呼出的白氣都連成片了。
這年頭不流行家長送考，不用問，全都是等著進考場的考生。
人家都是騎車、坐公車，甚至是大老遠步行過來的。開著車過來考試太紮眼，楊穎昨天跟喬小雨約好了在東街輔路路口碰頭。
曲卓放慢車速穿過一幫一撮一群群的考生，越過學校正門後在前麵路口左轉。
往前開了一點，離著還挺遠呢，就看到了路邊穿著暗紅底黑格子棉襖，一邊跺腳一邊把兩隻手放在嘴邊哈氣的喬小雨。
點了腳油門開過去，踩下刹車推開車門，黑著臉招呼：“上車！”
喬小雨看到某人傻了一下，醒過神趕緊坐進副駕駛，驚訝的問：“你怎麽來啦？”
“手套呢？”曲卓不由分說的把棉帽子扣媳婦腦袋上，拽過兩隻拔涼的手，直接塞進衣襟下麵。
喬小雨看了眼後座的楊穎，凍得有些發白的小臉上浮起一片紅暈。蚊子大的聲音說：“我尋思……考場沒地方放。”
“你可真行！準考證、筆、演算紙，都帶沒？”
“帶了。”喬小雨抽回一隻手，解開兩顆扣子，從棉襖裏懷掏出個防雨綢袋子。
裏麵有鋼筆，手裏拎著怕鋼筆水凍了。
“完了！”後座的楊穎忽然冒出一句……